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采用潔凈室技術(shù)，對(duì)受控微環(huán)境進(jìn)行污染控制以達(dá)到所要求的空氣潔凈度，需采取多種綜合技術(shù)措施。這些技術(shù)措施包括:①采用符合潔凈室要求的材料建造潔凈室。②選用符合潔凈室要求的設(shè)備。③采用閉密、隔離或排塵等措施有效控制污染物的擴(kuò)散。④采用壓差控制措施。⑤采用合理的人凈、物凈措施。⑥采用符合潔凈度要求的氣流組織形式等。
潔凈室的污染控制是一項(xiàng)系統(tǒng)工程，需多種措施有效配合，才能以最小的代價(jià)來達(dá)到最有效的污染控制。潔凈室的墻壁、地面、頂棚應(yīng)不產(chǎn)塵、少積塵、不易孳生細(xì)菌、無(wú)接縫或少接縫且接縫應(yīng)嚴(yán)密。符合要求的材料有彩鋼夾芯復(fù)合板、電解鋼板加抗菌涂層、人造石材板等。地面材料有環(huán)氧樹脂自流平地面、PVC 防靜電地板、高級(jí)水磨石地面等。
這項(xiàng)工作由工藝專業(yè)完成。目前的情況是:有相當(dāng)比例的工藝設(shè)備不符合潔凈室的要求，表現(xiàn)為表面凹凸不平、易產(chǎn)塵積塵、污染環(huán)境?？稍谠O(shè)備安裝后，在不影響使用的情況下，用不銹鋼板進(jìn)行裝飾，使其表面平整、光潔。
根據(jù)潔凈度的高低、工藝設(shè)備的產(chǎn)塵情況，利用壓差有效控制污染。-般情況下，氣流應(yīng)從潔凈度高的潔凈室向潔凈度低的潔凈室滲透。對(duì)于產(chǎn)生污染的潔凈室，除采取防止污染擴(kuò)散的措施外，應(yīng)使該潔凈室處于相對(duì)負(fù)壓的狀態(tài)，以防污染鄰室。
配合建筑設(shè)計(jì)專業(yè)，合理設(shè)計(jì)人流、物流通道，根據(jù)工藝要求，采用更、二更甚至三更的人凈方案。必要時(shí)需設(shè)置空氣吹淋室吹掉潔凈工作服上的浮塵。原材料的輸人，產(chǎn)品輸出，均需有很好的保護(hù)措施，如設(shè)置傳遞窗、傳遞通道。對(duì)輸入原輔料進(jìn)行外包吸塵、脫外包等工序。通過壓差來控制輸人、輸出口氣流流向，應(yīng)使?jié)崈魠^(qū)的靜壓比非潔凈區(qū)高15Pa。
這是空氣凈化的核心措施。采用過濾的方法(至少三級(jí):粗效、中效、高效或亞高效)，使送風(fēng)流潔凈。在非單向流潔凈室中，通過合理布置送風(fēng)口及回風(fēng)口，靠潔凈送風(fēng)氣流的擴(kuò)散、稀釋作用，把污染物稀釋后從回風(fēng)口排出。保持潔凈室的懸浮粒子濃度在要求的范圍內(nèi)。在單向流潔凈室中，靠潔凈送風(fēng)氣流“活塞”般的平推作用，把污染物從回風(fēng)口“壓”出。這方面的詳細(xì)內(nèi)容參見第4章。
近年來，有些產(chǎn)品的生產(chǎn)要求精密化及高純度，除需要控制微環(huán)境中的微粒污染外，還需聚控制其分子污染。為此，在這些潔凈室的空氣處理系統(tǒng)中還應(yīng)設(shè)置化學(xué)過濾器、吸附過濾器及吸收裝置。
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